Émetteur à vide Pirani en acier inoxydable pour détecteur de fuite d'hélium

Introduction du manomètre Pirani

Le manomètre Pirani est un capteur clé dans le système à vide d'un détecteur de fuites par spectromètre de masse à hélium, utilisé pour mesurer la pression dans la plage de vide moyen à faible (en particulier pendant l'étape de pompage préliminaire). Son élément de détection principal est généralement fabriqué à partir de métaux tels que le tungstène ou le nickel, tandis que le boîtier global est construit en acier inoxydable.

Fonction du manomètre Pirani

Le manomètre Pirani joue les rôles de "moniteur de processus" et de "protecteur de système" dans les détecteurs de fuites par spectromètre de masse à hélium, avec les fonctions spécifiques suivantes :
Surveillance de la pression de vide du pompage préliminaire (ligne avant) :
Lorsque le détecteur de fuites démarre, la pompe mécanique doit d'abord évacuer le système à vide de la pression atmosphérique à une pression relativement basse (généralement de l'ordre de 10 Pa à 0,1 Pa). Le manomètre Pirani surveille les changements de pression pendant cette étape en temps réel et les affiche sur l'interface de l'instrument.
Fournir un signal d'interverrouillage pour l'ouverture de la vanne à vide poussé (fonction de protection principale) :
La chambre principale du spectromètre de masse du détecteur de fuites ne peut fonctionner que dans des conditions de vide poussé (généralement inférieures à 0,1 Pa). Si la vanne à vide poussé (reliant la pompe mécanique à la pompe à diffusion/pompe turbomoléculaire) est ouverte avant que la pression de la ligne avant ne soit suffisamment basse, cela peut endommager gravement la pompe à vide poussé et contaminer l'ensemble du système.
Le manomètre Pirani est verrouillé avec le système de contrôle de l'instrument. Le système de contrôle ne permettra l'ouverture de la vanne à vide poussé et le démarrage de la pompe turbomoléculaire que lorsque le manomètre Pirani détecte que la pression de la ligne avant est inférieure à un seuil de sécurité prédéfini. Il s'agit d'une mesure de sécurité essentielle pour protéger la pompe à vide poussé et le spectromètre de masse coûteux.
Aider au diagnostic de l'état du système et de la localisation des fuites :
En observant le taux de chute de pression pendant le pompage et la pression stable finale atteignable, il est possible de déterminer préliminairement si le système présente une fuite importante (la pression ne chute pas constamment) ou un dégazage interne important (la pression chute lentement).
Lors des tests de fuite, si la pulvérisation d'hélium déclenche non seulement une réponse du signal du spectromètre de masse, mais provoque également une augmentation notable de la lecture du manomètre Pirani, cela indique généralement la présence d'une fuite relativement importante.