Détecteur de fuite d'hélium sous vide certifié CE pour l'industrie des semi-conducteurs

Détecteur de fuite d'hélium SFJ-16M

Indicateurs de performance






 

Taux de fuite détectable minimum
(Pa·m)³/s) / mode sous vide

Mode sous vide (Ultra):5.0 × 10^{- 13 ans} P.m.³/s(vitesse de pompage de l'hélium > 5 l/s)
Mode sous vide (FINE):1.0 × 10^{- 12 ans} P.m.³/s(vitesse de pompage de l'hélium 2,5 L/s)

Taux de fuite détectable minimum
(Pa·m3/s) / mode détecteur

5.0 × 10^{- 8 ans}P.m.³/s

Temps de réponse

< 1

Temps de démarrage (min)

≤ 95 s

Plage de détection des fuites
(Pa·m)³/s)

5.0 × 10^{- 13 ans}~ 1,0 × 10^{- 3}P.m.³/s

Plage d'affichage du taux de fuite
(Pa·m)³/s)

1.0 × 10^{- 13 ans}~ 1,0 × 10^{- 3} P.m.³/s

Pression maximale admissible de détection des fuites ((Pa)

1500

Qualité détectable

2,3,4 ((H2, He3, He4)

Configuration de base










 

Interface homme-machine

Écran tactile LCD couleur 5 "

Source ionique

2 pièces, oxyde d'yttrium enduit d'iridium, commutation automatique

Interface d'entrée/sortie

Huit entrées et huit sorties

Interface de communication

Résistance à la combustion

Interface MES

La norme

Taille physique de l'instrument
(W) ×(D) ×(H), mm

Pour les autres types d'équipement

Spécifications du port de détection des fuites

DN16 KF/2 pièces

Énergie

DC24V

Température de fonctionnement

0 à 40 °C

Le pouvoir

240 W

Langue d'affichage

Chinois et anglais

Affichage du taux de fuite

Figure, graphique à barres, graphique de courbe