Détecteur de fuite d'hélium à pompe sèche pour la détection de fuites de plaquettes SFJ-231D

Détecteur de fuite d'hélium à pompe sèche pour détection de fuite de wafer SFJ-231D

Paramètres techniques du détecteur de fuite d'hélium SFJ-231D

Application du détecteur de fuite d'hélium SFJ-231Dpour la galette

Dans la technologie de détection des fuites par spectrométrie de masse à l'hélium, l'application de pompes à vide sèches (pompes à vide sèches sans huile) dépend principalement des conditions de travail de l'équipement à inspecter,les exigences en matière de propreté et les exigences techniques des détecteurs de fuites par spectrométrie de masse à l'hélium (.g. Wayeal SFJ-231D).

Méthode de détection: méthode de pulvérisation d'hélium sous vide (mode haute sensibilité)

1: Évacuation du système et étalonnage de base

Évacuer à pression de base: chambre de gravure: ≤ 0,1 Pa (pompes sèches + pompe moléculaire combinées); chambre CVD/PVD: ≤ 10−3 Pa (exigences plus élevées pour les équipements de revêtement).

Étalonnage du détecteur de fuite: utiliser une référence de fuite standard (par exemple, 1 × 10−7 Pa·m3/s) pour étalonner le SFJ-231D et vérifier la linéarité de la réponse de l'instrument.

Étape 2: Détection des pulvérisations d'hélium

Zone de détection: rainures d'anneaux O, trous de boulons, joints de soudure, isolants céramiques, joints en cuivre, joints métalliques VCR/VCO, Il y a des liens.

Opération de pulvérisation d'hélium:

Utilisez un pistolet à pulvérisation d'hélium portatif (avec une buse de réglage fin de 0,1 mm) à une distance de 3 à 5 mm du point de détection.Ajustez la pression de l'hélium à 0.2-0.3 MPa pour éviter toute perturbation du flux d'air.

Étape 3: Détermination et enregistrement du point de fuite

Taux de fuite: Rate de fuite admissible des équipements de semi-conducteurs: généralement ≤ 1 × 10−9 Pa·m3/s (par normes SEMI).

Enregistrement des données: Lorsque le SFJ-231D affiche un pic de fuite, marquer le point de fuite avec un stylo de soulignement.

Enregistrer les courbes de débit de fuite et les données de localisation (exportation via USB).

Étape 4: réinspection et vérification

Effectuer une deuxième pulvérisation d'hélium sur les fuites identifiées pour confirmer la répétabilité.

Après réparation des fuites majeures, réévacuer à la pression de base et procéder à une nouvelle inspection complète.