Système de détection de fuite d'hélium en chambre à vide pour composants/sérailles de semi-conducteurs

Système de détection de fuites d'hélium en chambre à vide pour composants/joints de semi-conducteurs

Introduction du système de détection de fuites d'hélium

Il est utilisé pour la détection de fuites de composants/joints électroniques. La solution se compose d'une bouteille d'hélium sous pression, d'une chambre de détection de fuites et d'un détecteur de fuites à spectromètre de masse d'hélium.

Caractéristiques du système de détection de fuites d'hélium

1. La conception unique du circuit de gaz améliore la vitesse de pompage de l'hélium, raccourcit le temps de fond pour le nettoyage de l'hélium et empêche efficacement la pollution par l'hélium ;

2. Le débit de fuite détectable minimum est faible, la sensibilité est élevée et la plage de détection peut aller jusqu'au niveau 12 ;

3. Fonctions d'indication et d'alarme de défaut intelligentes.

Composition du système de détection de fuites d'hélium

La solution est composée d'une bouteille d'hélium sous pression, d'une chambre de détection de fuites et d'un détecteur de fuites à spectromètre de masse d'hélium. Les composants électroniques ou les joints sont placés dans la bouteille d'hélium sous pression, le gaz hélium de la concentration spécifiée

Applications du produit

Industrie des semi-conducteurs, composants/joints